半導(dǎo)體制造用鎳靶材是以高純度鎳(≥99.95%)或鎳基合金(如鎳鎢、鎳鈷)為材質(zhì)?,通過(guò)物理氣相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)制備的薄膜材料?,具備高導(dǎo)電性、耐腐蝕性、熱穩(wěn)定性及優(yōu)異機(jī)械性能?,需滿(mǎn)足高純度(≥99.95%)、高致密度(≥98%)及表面無(wú)缺陷等標(biāo)準(zhǔn)?,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體導(dǎo)電層/阻擋層、光伏電池背電極及智能玻璃涂層等領(lǐng)域?。...
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