鈦靶材

圓柱鈦靶材憑借其高致密性與工藝適應(yīng)性，在半導(dǎo)體（如5 nm節(jié)點(diǎn)TiN阻擋層）和超精密光學(xué)領(lǐng)域不可替代。相較于鈦管靶，其材料利用率低約20%，但更適合小尺寸高精度鍍膜（如Φ200 mm晶圓）；對(duì)比鎳靶塊，鈦靶的耐高溫性（熔點(diǎn)高213℃）和膜層硬度（TiN硬度達(dá)2000 HV）優(yōu)勢(shì)顯著。在高端應(yīng)用中，需選擇HIP工藝制備的納米晶靶材... 【詳情】

鈦靶板（平面靶）憑借其大面積成膜能力與高純度特性，成為半導(dǎo)體、光學(xué)及工業(yè)涂層領(lǐng)域的核心材料。相較于鈦管靶，其邊緣損耗較高但兼容性更廣；與鈦合金靶相比，純度更高但需依賴(lài)復(fù)合背板提升散熱效率。選購(gòu)時(shí)需嚴(yán)格把控純度、微觀結(jié)構(gòu)及供應(yīng)商工藝能力，使用中需優(yōu)化濺射參數(shù)與維護(hù)流程，以平衡鍍膜質(zhì)量與成本效益... 【詳情】

異形鈦靶材通過(guò)定制化設(shè)計(jì)解決了復(fù)雜結(jié)構(gòu)鍍膜的行業(yè)痛點(diǎn)，盡管初期成本與周期較高，但其在材料利用率、鍍膜精度上的優(yōu)勢(shì)顯著。選購(gòu)時(shí)需緊密協(xié)同設(shè)計(jì)與工藝團(tuán)隊(duì)，優(yōu)先選擇具備增材制造與精密加工能力的供應(yīng)商，并通過(guò)小批量試制驗(yàn)證可行性。在半導(dǎo)體3D集成、航空航天高溫涂層等前沿領(lǐng)域... 【詳情】

產(chǎn)品名稱(chēng)：鈦靶材、鈦板靶、鈦靶板牌號(hào)：TA0，TA1，TA2，GR1，GR2執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：GB/T2695-1996，ASTM B348-97用途：用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲(chǔ)存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層，玻璃... 【詳情】

產(chǎn)品名稱(chēng)：鈦靶材、鈦多弧靶, 鈦靶塊，鈦塊牌號(hào)：TA0，TA1，TA2，GR1，GR2執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：GB/T2695-1996，ASTM B348-97用途：用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲(chǔ)存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂... 【詳情】

產(chǎn)品名稱(chēng)：鈦靶材、鈦多弧靶, 鈦靶塊，鈦塊牌號(hào)：TA0，TA1，TA2，GR1，GR2執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：GB/T2695-1996，ASTM B348-97用途：用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲(chǔ)存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂... 【詳情】