凱澤金屬，寶雞鈦靶、鉻靶、鎳靶、鋯靶等靶材生產(chǎn)廠家，多年來(lái)專注鈦多弧靶、平面靶、板靶、管靶、旋轉(zhuǎn)靶等靶材的深加工，有關(guān)靶材鍍膜的工藝，結(jié)合蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜的兩種不同，結(jié)合相關(guān)資料，分享如下：
真空蒸發(fā)膜是在真空度不低于10-2Pa的環(huán)境中,用電阻加熱或電子束和激光轟擊等方法把要蒸發(fā)的材料加熱到定溫度,使材料中分子或原子的熱振動(dòng)能量超過(guò)表面的束縛能,從而使大量分子或原子蒸發(fā)或升華,并直接沉淀在基片上形成薄膜。離子泥射鍍膜是利用氣體放電產(chǎn)生的正離子在電場(chǎng)的作用下的高諫運(yùn)動(dòng)轟擊作為陰極的靶,使靶材中的原子或分子逸出來(lái)而沉淀到被鍍工件的表面,形成所需要的薄膜。
真空蒸發(fā)鍍膜最常用的是電膽加熱法,其優(yōu)點(diǎn)是加熱源的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,造價(jià)低廉,操作方便缺點(diǎn)是不適用于難焰金屬和耐高溫的介質(zhì)材料。電子束加熱和激光加熱則能克服電阻加熱的缺點(diǎn)。電子束加熱上利用聚焦電子束直接對(duì)被轟擊材料加熱,電子束的動(dòng)能變成熱能,使材料蒸發(fā)。激光加熱是利用大功率的激光作為加熱源,但由于大功率激光器的造價(jià)很高,目前只能在少數(shù)研究性實(shí)驗(yàn)室中使用。
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