高純鈦靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域

眾所周知，純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一，在實(shí)際使用中，對靶材的純度要求也不盡相同。相比一般的工業(yè)純鈦，高純鈦價(jià)格昂貴，應(yīng)用范圍較窄。主要用來滿足一些特殊行業(yè)的使用。有關(guān)高純鈦靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域，凱澤金屬整理如下：

1、生物材料

鈦是無磁性金屬，在很強(qiáng)的磁場中也不會被磁化，且與人體有良好的相容性，無毒副作用，可以用來制造人體植入器件。一般醫(yī)用鈦材并沒有達(dá)到高純鈦的級別，但是考慮到鈦中不純物的溶出問題，植入件用鈦的純度應(yīng)盡可能的高。有文獻(xiàn)中提到，高純鈦絲可用做生物捆扎材料。此外，內(nèi)埋導(dǎo)管的鈦制注入式針頭也達(dá)到了高純鈦級別。

2、裝飾材料

高純鈦具有優(yōu)異的耐大氣腐蝕性能，在大氣中長期使用也不變色，保證鈦原有的本色。因此高純度鈦還可以用做建筑裝飾材料。此外，近年來部分高檔裝飾品以及部分佩戴物，如手鏈、手表及眼鏡架等用鈦制作利用了鈦耐腐蝕、不變色、能長久保持良好的光澤以及與人體皮膚觸摸不致敏等特性。某些裝飾品用鈦的純度現(xiàn)已達(dá)到5N級別。

3、吸氣材料

鈦?zhàn)鳛橐环N化學(xué)性質(zhì)非常活潑的金屬，在高溫下可與許多元素和化合物發(fā)生反應(yīng)。高純鈦對活性氣體(如O₂，N2，CO，CO₂，650℃以上的水蒸氣)的吸附性很強(qiáng)，蒸發(fā)在泵壁上的鈦膜可形成一個高吸附能力的表面，這一性質(zhì)使得Ti在超高真空抽氣系統(tǒng)中作為吸氣劑而得到廣泛的應(yīng)用。如用在升華泵、濺射離子泵等，可使濺射離子泵的極限工作壓強(qiáng)低至一定程度。

4、電子信息材料

近年來，隨著半導(dǎo)體技術(shù)、信息技術(shù)等高科技領(lǐng)域的快速發(fā)展，高純鈦在濺射靶材、集成電路、DRAMs和平板顯示器等方面的用量越來越大，對鈦材的純度要求越來越高。在半導(dǎo)體超大規(guī)模集成電路行業(yè)，控制電極采用鈦硅化合物、鈦氮化合物、鎢鈦化合物等作為擴(kuò)散阻擋層和配線材料。制作這些材料采用濺射法，而濺射法用的鈦靶材對純度要求很高，特別是對堿金屬元素和放射性元素要求含量極低。

除此之外，高純鈦靶材在特殊合金、功能材料領(lǐng)域也有應(yīng)用。

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